半导体制造中的超精密加工技术与装备
发布时间: 2023年11月07日
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本视频为大连理工大学教授,中国机械工程学会极端制造分会副主任委员康仁科在中国机械工程学会科技期刊联盟期刊论坛(第四期)上所做的报告(2023年9月20日)。